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6GH真空机器人
转载 :  zaoche168.com   2017年10月25日

　　真空环境内OLED工序用机器人

　　用于高真空(10-7 Torr)作业环境

　　双臂负载210kg , 工件80kg

　　 基板和光掩膜同时搬运

　　无行走轴圆桶式结构　

         高强度线性臂　

      

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